曝光機工作原理

在計算機的控制下，利用聚焦電子束對有機聚合物（通常稱(chēng)為電子抗蝕劑或光刻膠）進(jìn)行曝光，受電子束輻照后的光刻膠，其物理化學(xué)性質(zhì)發(fā)生變化，在一定的溶劑中形成良溶或非良溶區域，從而在抗蝕劑上形成精細圖形。

曝光機即電子束曝光機是集電子光學(xué)、電氣、機械、真空、計算機技術(shù)等于一體的復雜的半導體加工設備。

曝光機是20世紀60年代初從掃描電子顯微鏡基礎上發(fā)展起來(lái)，70年代以后廣泛應用于半導體集成電路制造業(yè)。